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我国研制出新型丈量装置

时间:2012-10-25     泉源:中国科学报
日前 ,,,一种高精度的新型光学二维图形圆度丈量装置在中国计量科学研究院研制乐成并通过专家验收。。。。该装置首次将圆度丈量的标准要领与影像探测手艺举行连系 ,,,实现二维圆图形高精度圆度校准 ,,,准确度抵达天下先进水平 ,,,解决了高精度影像测头坐标丈量机的溯源问题。。。。

  据先容 ,,,坐标丈量机是一种细密、高效的空间几何量丈量仪器。。。。小到五金件的尺寸确定 ,,,大到整机、整车的几何量丈量 ,,,都须借助该装备。。。。然而 ,,,我国已引进的高精度坐标丈量机影像测头的探测误差达0.5微米 ,,,但评定用标准器的不确定度应优于0.15 微米。。。。为此 ,,,高精度标准圆图形的圆度校准迫切需要建设更高精度的圆度丈量装置。。。。

  为解决这一难题 ,,,中国计量科学研究院长度所研究员王为农向导团队经由攻关 ,,,将圆度丈量的标准要领与影像探测手艺相连系 ,,,以自主研制的一维影像传感器作为测头 ,,,使用成熟的细密转台和数据处置惩罚系统 ,,,组成磷七精度、可溯源“光学二维图形圆度丈量装置” ,,,实现了二维圆图形高精度圆度校准。。。。

  据相识 ,,,从丈量原理上 ,,,该装置连系了接触法和影像法的优点 ,,,解决了零高度二维图形的圆度丈量问题。。。。同时 ,,,该装置误差泉源简朴 ,,,与古板丈量的评价要领一致 ,,,量值溯源途径清晰 ,,,解决了光学系统数值孔径、光学传感器噪声等对区分力和丈量能力的限制等难题。。。。

  业内专家以为 ,,,该效果可用于光学影像丈量装备标准器的溯源 ,,,为集成电路、印刷电路和机械零件等加工制造行业的光学制版装备和光学成像加工装备的准确度验收提供了新的可能。。。。

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